Kỹ thuật gốm sứ Inc. (EC © ™) Báo cáo:
ECNút hút chân không- Tóm tắt kỹ thuật
EC chuyên về các nguồn cấp dữ liệu chân không hiệu suất cao như:
Người cách điện gốm cho cách điện điện áp cực cao (Al₂O₃/ALN)
Công nghệ hàn chân không (tỷ lệ rò rỉ <10⁻⁹ mbar · l/s)
Niêm phong kín cho máy bơm phân tử/bơm ion Turbo (tương thích UHV/XHV)
Cấu hình tùy chỉnh cho các ứng dụng bán dẫn, hàng không vũ trụ và nghiên cứu
Bảng 1: Phân loại dựa trên nguyên tắc hoạt động
|
loại |
Lý thuyết hoạt động |
Nước chân không cuối cùng (PA) |
Các tính năng chính |
Sử dụng chính |
|
Bơm cánh quạt quay |
Chuyển tiếp với một chiếc xe xoay |
1E-1 ~ 1E2 |
Loại con dấu dầu, yêu cầu bảo trì |
Bơm tiền thân/trở lại |
|
Bơm cuộn khô |
Nén khí theo hình xoắn ốc quỹ đạo |
1E-2 ~ 1E1 |
Không dầu, rung thấp |
Thiết bị phòng thí nghiệm |
|
Rễ quạt gió |
Vận chuyển khí bằng cách sử dụng thùy xoay quầy |
1E-1 ~ 1E3 |
Thông lượng cao, thường nhiều tầng |
Hệ thống chân không công nghiệp |
|
Bơm khuếch tán dầu |
Chuyển bằng động lượng phản lực hơi nước |
1E-7 ~ 1E-4 |
Không có bộ phận chuyển động, cần thiết bẫy lạnh |
Lắng đọng chùm tia điện tử |
|
Bơm phân tử turbo |
Rôto tốc độ cao (> 60K vòng / phút) va chạm với các phân tử |
1E-9 ~ 1E-6 |
Sạch sẽ, rung động nhạy cảm |
Máy khoa học UHV |
|
Bơm đông lạnh |
Ngưng tụ khí trên bề mặt <20K |
<1E-10 |
Cần có chân không tối đa và tái sinh thường xuyên |
Mô phỏng môi trường không gian |
Bảng 2: Phân loại theo cấp độ chân không
|
Phạm vi chân không |
Áp lực (PA) |
Loại bơm tối ưu |
Cân nhắc kỹ thuật |
|
Không gian chân không thô |
1E5 ~ 1E2 |
Cánh quạt quay, cơ hoành |
Hỗ trợ áp suất cao với chấn lưu khí |
|
Chân không thấp |
1E2 ~ 1E-1 |
Rễ + Vane quay |
Tốc độ so với hiệu quả năng lượng |
|
Độ chân không cao |
1E-1 ~ 1E-7 |
Sự khuếch tán, |
Phòng ngừa backstream |
|
Máy hút bụi siêu cao (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, cryopump |
Lựa chọn vật chất là quan trọng |
|
Máy hút bụi cực kỳ cao |
<1E-10 |
Hệ thống ion lai |
Môi trường cấp lượng tử |
Hướng dẫn lựa chọn bơm hút bụi
Tiêu chí lựa chọn chính
1. Cấp độ chân không cuối cùng
Mức độ chân không cần thiết phải đáp ứng các thông số kỹ thuật của quy trình. Ví dụ:
- Trong sản xuất chất bán dẫn, mức độ chân không dưới 10⁻⁶ PA thường được yêu cầu.
- Trong các quy trình công nghiệp, nó có thể hoạt động hiệu quả trong phạm vi từ 10⁻ đến 10² pa
2. Tốc độ bơm
Được đo bằng lít mỗi giây (L/s) hoặc mét khối mỗi giờ (m³/h)
Chọn kích thước phù hợp cho công suất buồng của bạn và tải khí
Các ứng dụng thông lượng cao (ví dụ: lò chân không) có thể yêu cầu hơn 1.000 m³/h
3. Khả năng tương thích khí và hóa học
- Sử dụng tiêu chuẩn: Vật liệu tiêu chuẩn (thép không gỉ, nhôm)
- Môi trường ăn mòn: Các vật liệu đặc biệt được yêu cầu, ví dụ:
- Các bộ phận lớp phủ PTFE (cho khả năng kháng axit)
- Hợp kim Hastelloy hoặc Niken (cho các hóa chất mạnh mẽ như clo)
4. Hiệu quả và bảo trì năng lượng
- Bơm con dấu dầu:
- Chi phí ban đầu thấp
- Thay đổi dầu thường xuyên được yêu cầu (cứ sau 2.000 đến 4.000 giờ)
- Nguy cơ ô nhiễm dầu thông qua các quá trình nhạy cảm
- Bơm khô (không dầu):
- Đầu tư ban đầu cao
- Không cần bảo trì (không thay dầu)
- Khuyến nghị cho các quy trình sạch (ví dụ: thuốc, thực phẩm)
Thuật ngữ chính được đề cập trong văn bản này như sau:
1. Hải cẩu chân không - Một con dấu chân không, công nghệ niêm phong chân không ngón tay và thức ăn chân không có hiệu quả (kết nối niêm phong).
2. Phần xuyên qua (かんつうぶ)-Phần xuyên suốt, thường đề cập đến các phần đi qua các bức tường hoặc phân vùng, và đôi khi được sử dụng để mô tả các cấu trúc tương tự như chân không.
3. Furanzi - Mặt bích, thường được sử dụng trong các thành phần kết nối hệ thống chân không, phần cứng liên quan đến chân không có thể liên quan đến thuật ngữ này.
4. Đầu nối chân không - Đầu nối chân không, đầu nối chân không dưới không khí và khả năng truy cập vào nguồn cấp dữ liệu.
5. Sự thâm nhập cách nhiệt - Khả năng thực hiện trong quá trình nuôi dưỡng chân không.
Những từ này không hoàn toàn tương đương với "thức ăn chân không", nhưng có thể được sử dụng làm xấp xỉ hoặc các thuật ngữ liên quan trong một số trường hợp nhất định. Ngôn ngữ nào để sử dụng phụ thuộc vào các chi tiết kỹ thuật và chuẩn mực ngành, vì vậy bạn nên đề cập đến tài liệu chuyên gia có liên quan hoặc tham khảo ý kiến chuyên gia để đảm bảo độ chính xác.
Tuyên bố: Bài báo/Tin tức/Video là từ Internet hoặc, được thực hiện bởi phần mềm AI. Trang web của chúng tôi in lại cho mục đích chia sẻ. Bản quyền của bài báo/tin tức/video được in lại thuộc về tác giả gốc hoặc tài khoản chính thức ban đầu. Nếu có bất kỳ hành vi xâm phạm nào liên quan, xin vui lòng thông báo cho chúng tôi kịp thời và chúng tôi sẽ xác minh và xóa nó.
